BM-107JX精密测量显微镜

一、用途

BM-107JE型测量显微镜是一种小型二维数显测量的计量仪器，仪器主要采用透、反射照明方式，通过观察和数显系统对精密件的几何量（长度、角度）进行观察、分析、测量。特别适用于大规模集成电路线宽、小型零件（如钟表零件）及其他精密件几何参数的测量。 仪器可以连接CCD进行影像测量。仪器体积小、重量轻、可广泛应用于计量室、生产作业线以及科学研究部门。

 

二、技术规格

光学系统		无限远正像光学系统
观察方式	目镜筒	1、30°铰链式三目头（48mm-75mm） 2、0.3XCCD适配镜
	光学方式	透射、反射
物镜参数	倍率	5X	10X	20X	50X
	视场直径（mm）	34	17	8.5	3.5
	工作距离（mm）	14.47	16.01	10.5	5.1
目镜参数		WF10X/Φ22mm
		WF10X/Φ20mm带0.1mm十字分划板
测量范围		工作台测量范围：50×50mm
		圆工作台角度测量范围：0°～360°
分度值		X,Y方向分度值：0.001mm
		圆工作台游标分度值：5′
测量精度		仪器示值误差±（4+L/25）μm， L－被测件长度mm
调焦装置		粗微动同轴调焦行程：150mm，微m动格值：0.002mm
照明装置		反射照明：柯勒照明， LED（3W）, AC100V-240V 透射照明：LED（3W）, AC100V-240V
仪器主要尺寸		工作台：200×200mm，测量工作台直径120mm ， 玻璃工作台直径75mm
选购件		无限远长工作距离物镜：80X（WD=2.76mm）、 100X（WD=3.1mm）
		2、日本三丰Mitutoyo 数显测微手轮 分辨率0.001mm 公英制转换
		3、Z向辅助测量装置
		4、二维测量软件